非晶金刚石膜在高速钢丝锥上的应用

2020-07-10 310

1 引言

自1971年Aisenberg和Chabot用高能离子束在室温下沉积出类金刚石碳膜的研究成果问世以来，在世界范围内兴起了类金刚石膜的研究和应用开发热潮，各国研究人员用各种不同的高能粒子沉积方法制备出类金刚石膜。用碳氢化合物气体获得碳离子源的沉积方法，镀膜中含有大量氢元素；而用固体碳(石墨)作碳离子源的沉积方法，可得到纯碳的镀膜。类金刚石碳膜通常为非晶态或含有部分纳米晶，是金刚石结构(SP³)和石墨结构(SP²)的混合物，其硬度、弹性模量等性能主要取决于SP³结构的含量。当SP³≥20%、硬度HV≥2000时，称为类金刚石碳膜(DLC)；当SP³≥70%、硬度HV≥7000时，称为非晶金刚石碳膜，因其属于四面体金刚石结构，故又称为非晶四面体金刚石碳膜(ta-c)。

非晶金刚石膜具有高硬度、低摩擦系数和高热导率等优异性能(见表1)，在刀具、量具和模具制造业有着广泛的应用前景。

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硬度性能方法

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